半導体製造検査のための 3D スマートセンサー

半導体の製造は、機械的、フォトリソグラフイック、および化学的処理の手順から構成される多段階の製造シーケンスであり、その間に、電気回路は、純粋に半電導性の材料でできたウェーハ上に徐々に作成されます。シリコンがほとんど常に使用されますが、特殊な用途にはさまざまな化合物半導体が選択されます。

Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、この製造プロセスのさまざまな段階で高精度のインライン 3D スキャンと検査を行い、最高の製品品質と最適な生産スループットを実現します。

Gocator Logo 5500 シリーズ

推奨ソリューション

Gocator® 5500 シリーズは、Gocator® シリーズの 3D スマートセンサーに、特許取得済みのライン共焦点イメージング (LCI) 技術を追加します。これらのライン共焦点センサーは、3D トポグラフィー、3D トモグラフィー、2D 強度データの同時生成により、高速で、広範囲の 2K ラインスキャンを提供します。 

これにより、Gocator® 5500 シリーズは、サブミクロンの精度で、また競合する共焦点テクノロジーを上回る品質とスピードで、実質的にあらゆる材料タイプ (マルチレイヤー、透明/半透明、曲面のエッジ、光沢面/鏡面、高コントラストのテクスチャー面、混合、およびその他多数を含む) をスキャンできるようになります。

Gocator Logo 2500 シリーズ

推奨ソリューション

Gocator 2500 3D スマートセンサーは、現在最も高速で、最もコンパクトで、高度な Gocator レーザーラインプロファイラーです。これらのラインプロファイラーは、高パフォーマンスの小型部品検査のために設計されており、

最大 10 kHz の検査速度 (スキャン、測定、制御を含む) および 最大 8 ミクロンの X 解像度を実現します。カスタム 2MP 高速画像装置、最適な光学設計、青色レーザー光により、光沢のある表面と他の扱いにくい表面で高い再現性の結果と共に優れたデータを生成できます。

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LMI Technologies は、工場のために最先端のスマート 3D テクノロジーを設計・配信します。自動車と家電、ゴムとタイヤ、道路と鉄道、木材を網羅する業界で信頼されている当社の 3D ソリューションは、お客様の製品やプロセスの検査、オートメーション、最適化を通じて生産力を向上します。

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