半導体製造検査のための 3D スマートセンサー
半導体の製造は、機械的、フォトリソグラフイック、および化学的処理の手順から構成される多段階の製造シーケンスであり、その間に、電気回路は、純粋に半電導性の材料でできたウェーハ上に徐々に作成されます。シリコンがほとんど常に使用されますが、特殊な用途にはさまざまな化合物半導体が選択されます。
Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、この製造プロセスのさまざまな段階で高精度のインライン 3D スキャンと検査を行い、最高の製品品質と最適な生産スループットを実現します。