Smart 3D Inspection for EV Battery | LMI Technologies

Smart 3D Inspection for EV Battery

ウェーハの検査 (寸法決定、選別、欠陥検出) レーザーダイシングおよび/またはスクライブが完了した後、Gocator® 3D ライン共焦点センサーを使用して、ウェーハのスクライブの溝の配置、溝の深さ、およびカーフの幅の精度を測定し、ダイチッピングなどの欠陥を防ぎます。これにより、ウェーハあたりの使用可能なダイが増え、最高の生産スループットに対して最高の品質と処理速度が確保されます。 ウェーハのソート 業界初のスマート 3D ライン共焦点センサー さらに詳しく 3 つのデータタイプを生成 Gocator® ライン共焦点センサーは、3D トポグラフィー (3D 表面形状用)、3D トモグラフィー (マルチレイヤー 3D 形状用)、 2D 強度データを同時に生成し、これらのセンサーがマルチレイヤー、透明、曲面、混合材料などを含む、実質的にあらゆる材料タイプを扱うことを可能にします。 Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、ダイチップとその他の表面の欠陥の高精度の検出の実現に加えて、ウェーハのサイズ、厚さ、平坦度をスキャンおよび検査するために使用されます。 Gocator® 5500 高速スキャン速度 Gocator® 5500 センサーは、カスタム高速画像装置と高性能電子装置を備え、PC アクセラレーションを使用して 10kHz 以上で度量衡グレードの検査を実現します。 BGA/PGA 検査 (位置、高さ、半径) Gocator 3D ライン共焦点センサーは、組み立ておよびテスト IC 中のBGA および PGA 位置、高さ、半径の検査に使用されます。 業界初のスマート 3D ライン共焦点センサー さらに詳しく Gocator® 5500 Series BGA (Ball Grid Array) 検査 Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、50µm 未満の直径のボールの高さ、位置、およびその他の寸法情報を精確に測定できます。 PGA (Pin Grid Array) 検査 Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、PGA ピンの高さや位置を正確に検査し、その後の抜き差しプロセスでの接触不良を確実に防止し、位置の誤差によるピン破損などの欠陥流出を防止します。 はんだ接合部検査 Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、溶接前の接合位置の平坦度と高さを精確に測定し、検査することができ、その後の溶接が完了した後に各はんだ接合部の破損を最小限に抑えることができます。 銀エポキシ検査 (ダイ加工) Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、各リードフレームエリアのコーティングされた銀エポキシ樹脂の表面領域や、エポキシ系接着剤ビーズの高さ (厚さ) を精確に測定するために使用されます。 内蔵測定ツール オンボードツールにより、ユーザーは、サードパーティのビジョンソフトウェアに投資したり、自らカスタムツール一式を開発する必要なしに、面積・体積を測定することができます。 Gocator® 5500 series さらに詳しく 内蔵測定ツール 3D イメージングは、コントラストが変化しないため、不透明や半透明なものから透明なものまで、さまざまな種類の接着剤材料のスキャンに使用できます。それに比べて、2D ソリューションは、コントラストベースのデータしか生成しないため、形状を測定することはできません。 業界初のスマート 3D ライン共焦点センサー 3D 形状データ Gocator センサーは、接着剤ビーズの精密な体積測定と形状に基づいた欠陥検出 (気泡、厚さなど) に必要な 3D 形状データを生成します。 ワイヤボンディング欠陥検出 Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、ワイヤ (金、銅、アルミ) のアーチの高さや位置を高精度で測定するために使用されます。 Web ベースのユーザーインターフェース 迅速な構成のための Web ブラウザ駆動のポイントアンドクリック環境、内蔵測定ツール、および結果を通信するための豊富な I/O などの機能により、工場技術者は必要な結果を容易に得ることができます。 Gocator ライン共焦点センサーは、高反射性、鏡面性、透明性、多層構造の表面に対して優れたパフォーマンスを実現します。 扱いにくい表面での高パフォーマンス 欠陥検出 Gocator ライン共焦点センサーはまた、破損や曲がりなどのワイヤ自体の欠陥も検出します。 Gocator® 5500 series さらに詳しく T業界初のスマート 3D ライン共焦点センサー ボールバンプ寸法測定 Gocator® 3D ライン共焦点センサー は、2.5 ミクロンまでのボールの直径と高さ (厚さ) を精確に取得します。 Gocator® 5500 さらに詳しく Gocator ライン共焦点センサーはまた、すべてのボールのバンプ間の平坦度を検査するために使用され、不均一な力分布、ダイの破断、オープンサーキットの原因になる高さの変動を検出します。 平坦度の測定 業界初のスマート 3D ライン共焦点センサー 高密度データ生成 Gocator® ライン共焦点センサーは、表面あたり、1 秒あたり最大 2,800 万の 3D および 2D データポイントを生成します。 高い解像度と再現性 Gocator ライン共焦点センサーは、最大 2.5 µm の X 解像度と最大 0.05 µm の Z-再現性を達成し、高精度の測定を実現します。 最終的なパッケージングの測定と検査 Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、最終的なパッケージングの後にチップの長さ、幅、高さを取得できます。 Gocator® 5500 series さらに詳しく これらのセンサーは、くぼみや引っかき傷などの欠陥を検出するために、高解像度の 2D グレースケール画像を出力することもできます。 2D 強度出力 業界初のスマート 3D ライン共焦点センサー FactorySmart® センサー Gocator 3D スマートセンサーは、ネットワークとシームレスに接続し、結果の伝達、ウェブブラウザでの診断や統計情報の表示、インターネット経由でのアップグレードへのアクセス、工場設備とのインターフェイスを実現します。 1250x500 Semiconductor SiliconWaferInspection TypeOfScanData G5500 Product Family Comp transparent magnifying glass icon white 1 Wafer Defect Zoom 5500 LP icons presentation High Speed Scanning BGA Inspection G5 Comp 1250x500 Semiconductor BGAInspection G5500 Product Family Comp transparent BGA Closeup BGA FullZoom 1250x500 Semiconductor SilverAdhesive 2.measurement tools all 1 BGA 3D Data G5500 Product Family Comp transparent FocalSpec LP Icons Wide Variety of Challenging Materials 1250x500 Semiconductor WireBondInspection Web Based Interface Sensor Wire Defect Wire Bond Scan G5500 Product Family Comp transparent 1250x500 Semiconductor BallBumpDimensioning G5500 Product Family Comp transparent BallBump Sensor Zoom 2510 Sim Coplanarity 5500 LP icons High Resolution Imaging new 1250x500 Semiconductor FinalPackageInspection G5500 Product Family Comp transparent FactorySmartAI Icons Superhuman Performance Intensity comparison

半導体製造検査のための 3D スマートセンサー

半導体の製造は、機械的、フォトリソグラフイック、および化学的処理の手順から構成される多段階の製造シーケンスであり、その間に、電気回路は、純粋に半電導性の材料でできたウェーハ上に徐々に作成されます。シリコンがほとんど常に使用されますが、特殊な用途にはさまざまな化合物半導体が選択されます。

Gocator® 3D ライン共焦点センサーは、この製造プロセスのさまざまな段階で高精度のインライン 3D スキャンと検査を行い、最高の製品品質と最適な生産スループットを実現します。

Semicondcutor Inspection Brochure Gocator 4000 Gocator 5000

Gocator 4000 シリーズは、LMI の既存の ライン共焦点製品ポートフォリオを補完する同軸ライン共焦点センサー技術を導入しています。これらのセンサーは、半導体、家電製品、EV バッテリーなどの製造アプリケーション向けに、優れた角度特性(最大傾斜角度は±85度)を備えた高速、高解像度、多用途の 3D インライン検査ソリューションを提供します。

Gocator Logo 5500 シリーズ

推奨ソリューション

Gocator® 5500 シリーズは、Gocator® シリーズの 3D スマートセンサーに、特許取得済みのライン共焦点イメージング (LCI) 技術を追加します。これらのライン共焦点センサーは、3D トポグラフィー、3D トモグラフィー、2D 強度データの同時生成により、高速で、広範囲の 2K ラインスキャンを提供します。 

これにより、Gocator® 5500 シリーズは、サブミクロンの精度で、また競合する共焦点テクノロジーを上回る品質とスピードで、実質的にあらゆる材料タイプ (マルチレイヤー、透明/半透明、曲面のエッジ、光沢面/鏡面、高コントラストのテクスチャー面、混合、およびその他多数を含む) をスキャンできるようになります。

Gocator Logo 2500 シリーズ

推奨ソリューション

Gocator 2500 3D スマートセンサーは、現在最も高速で、最もコンパクトで、高度な Gocator レーザーラインプロファイラーです。これらのラインプロファイラーは、高パフォーマンスの小型部品検査のために設計されており、

最大 10 kHz の検査速度 (スキャン、測定、制御を含む) および 最大 8 ミクロンの X 解像度を実現します。カスタム 2MP 高速画像装置、最適な光学設計、青色レーザー光により、光沢のある表面と他の扱いにくい表面で高い再現性の結果と共に優れたデータを生成できます。

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LMI Technologies は、工場のために最先端のスマート 3D テクノロジーを設計・配信します。自動車と家電、ゴムとタイヤ、道路と鉄道、木材を網羅する業界で信頼されている当社の 3D ソリューションは、お客様の製品やプロセスの検査、オートメーション、最適化を通じて生産力を向上します。

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