Smart 3D Inspection for EV Battery | LMI Technologies

Smart 3D Inspection for EV Battery

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Wafer-Inspektion (Dimensionierung, Sortierung, Defekt-Erkennung) Nach dem Laser-Dicing oder der Laserstrukturierung werden die Gocator® konfokalen 3D-Liniensensoren zur Prüfung der präzisen Rillenpositionierung, -tiefe und Schnittspaltbreite eingesetzt, um Defekte zu vermeiden. Dies erhöht die Anzahl nutzbarer Dies pro Wafer und sorgt für maximale Qualität und Verarbeitungsgeschwindigkeiten bei maximalem Produktionsdurchsatz. Sortierung von Wafern Der erste konfokale 3D-Smart-Liniensensor MEHR EHFAHREN Generierung von drei Datentypen Gocator® konfokale Liniensensoren erzeugen gleichzeitig 3D-Topografie (für 3D-Oberflächengeometrie), 3D-Tomografie (für mehrschichtige 3D-Geometrie) und 2D-Intensitätsdaten, so dass diese Sensoren nahezu jeden Materialtyp erfassen können, einschließlich mehrschichtiger, transparenter, gekrümmter, gemischter Oberflächen und mehr. Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren werden zum Scannen und Prüfen von Wafergröße, -dicke und -ebenheit verwendet und bieten darüber hinaus eine hochpräzise Fehlererkennung von Die-Chips und anderen Oberflächenfehlern. Gocator® 5500 Hohe Messfrequenzen Die Gocator® 5500 Sensoren verfügen über einen kundenspezifischen Hochgeschwindigkeits-Imager und eine leistungsstarke Elektronik, die eine präzise Prüfung mit über 10 kHz und PC-Beschleunigung ermöglicht. BGA/PGA-Prüfung (Position, Höhe, Radius) Gocator konfokale 3D-Liniensensoren werden für die Inspektion von Position, Höhe und Radius von BGA und PGA bei der Montage und Prüfung von Chips verwendet. Der erste konfokale 3D-Smart-Liniensensor MEHR ERFAHREN Gocator® 5500 Series BGA (Ball Grid Array) Inspektion Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren können präzise die Kugelhöhe, die Kugelposition und andere Dimensionsinformationen der Kugel mit einem Durchmesser von weniger als 50 µm messen. PGA (Pin Grid Array) Inspektion Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren können die Höhe und Position der PGA-Stifte genau prüfen, um sicherzustellen, dass beim anschließenden Einsetz- und Entnahmevorgang keine mangelhaften Kontakte auftreten, und um Defekte wie z.B. durch Positionsfehler verursachte Stiftbeschädigungen zu vermeiden. Inspektion der Lötstelle Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren können Ebenheit und Höhe der Lötstellenposition vor dem Schweißen genau messen und prüfen und den Bruch jeder Lötstelle nach dem anschließenden Schweißen minimieren. Inspektion von Silber-Epoxid (Farbstoffverfahren) Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren werden zur exakten Oberflächenmessung von beschichtetem Silber-Epoxid in jedem Stanzgitter-Bereich sowie zur Höhenmessung (d. h. Dicke) der Epoxid-Kleberaupe verwendet. Integrierte Messwerkzeuge Mit den integrierten Werkzeugen können Benutzer Flächen- und Volumenmessungen vornehmen, ohne in Bildverarbeitungssoftware von Drittanbietern investieren oder eigene Werkzeuge entwickeln zu müssen. Gocator® 5500 series MEHR ERFAHREN Scannt jede Materialart 3D-Bildverarbeitung funktioniert kontrastunabhängig und eignet sich deshalb besonders für das Scannen von Klebematerialien, von undurchsichtigen bis hin zu lichtdurchlässigen und transparenten Materialien. Im Gegensatz dazu können 2D-Lösungen keine Dimensionsmessungen liefern, da sie nur kontrastbasierte Daten erzeugen. Der erste konfokale 3D-Smart-Liniensensor 3D-Formdaten Gocator-Sensoren erzeugen die erforderlichen 3D-Formdaten für präzise Volumenmessungen und die Erkennung von Formfehlern (z. B. Luftblasen, Dicke) auf der Kleberaupe. Defekterkennung beim Drahtbonden Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren werden zur hochpräzisen Messung der Bogenhöhe und Position des Drahtes (Gold, Kupfer oder Aluminium) verwendet. Web-basierte Benutzeroberfläche Funktionen wie die Webbrowser-gesteuerte Point-and-Click-Umgebung für eine schnelle Konfiguration, integrierte Messwerkzeuge und umfangreiche E/A für die Übermittlung von Ergebnissen machen es einfach, die erforderlichen Daten zu erhalten. Gocator konfokale Liniensensoren bieten hervorragende Leistung auf stark reflektierenden, spiegelnden, transparenten und mehrschichtigen Oberflächen. Höchstleistung auf anspruchsvollen Oberflächen Defekterkennung Gocator konfokale Liniensensoren erkennen auch Defekte im Draht selbst, wie z.B. Brüche oder Biegungen. Gocator® 5500 series MEHR ERFAHREN Der erste konfokale 3D-Smart-Liniensensor Ball-Bumping Dimensionsmessung Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren erfassen den Durchmesser und die Höhe (Dicke) der Kugel mit einer Genauigkeit von bis zu 2,5 Mikrometern. Gocator® 5500 MEHR ERFAHREN Gocator konfokale Liniensensoren werden für die Prüfung der Koplanarität zwischen allen Bumps verwendet, um Höhenunterschiede zu erkennen, die zu ungleichmäßiger Spannungsverteilung, Brüchen und offenen Schaltkreisen führen können. Messung der Koplanarität Der erste konfokale 3D-Smart-Liniensensor Erzeugt Daten mit hoher Dichte Gocator® konfokale Liniensensoren erzeugen bis zu 28 Millionen 3D- und 2D-Datenpunkte pro Sekunde und Oberfläche. Hohe Auflösung und Wiederholgenauigkeit Gocator konfokale Liniensensoren erreichen eine X-Auflösung von bis zu 2,1 µm (X) und eine Z-Wiederholgenauigkeit von bis zu 0,05 µm für hochpräzise und genaue Messungen. Messung und Inspektion der Endverpackung Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren erfassen die Länge, Breite und Höhe des Chips nach der endgültigen Verpackung. Gocator® 5500 series MEHR ERFAHREN Diese Sensoren können auch hochauflösende 2D-Graustufenbilder ausgeben, um Defekte wie Vertiefungen und Kratzer zu erkennen. 2D-Intentsitätsdaten Der erste konfokale 3D-Smart-Liniensensor FactorySmart® Sensoren Gocator 3D-Smart-Sensoren lassen sich nahtlos in Netzwerke einbinden, um Ergebnisse zu übermitteln, Diagnosen und Statistiken über Webbrowser anzuzeigen, auf Upgrades über das Internet zuzugreifen und eine Schnittstelle zu Werksanlagen herzustellen. 1250x500 Semiconductor SiliconWaferInspection TypeOfScanData G5500 Product Family Comp transparent magnifying glass icon white 1 Wafer Defect Zoom 5500 LP icons High Speed Scanning BGA Inspection G5 Comp 1250x500 Semiconductor BGAInspection BGA Closeup BGA FullZoom 1250x500 Semiconductor SilverAdhesive 2.measurement tools all 1 BGA 3D Data FocalSpec LP Icons Wide Variety of Challenging Materials 1250x500 Semiconductor WireBondInspection Web Based Interface Sensor Wire Defect Wire Bond Scan 1250x500 Semiconductor BallBumpDimensioning BallBump Sensor Zoom 2510 Sim Coplanarity 5500 LP icons High Resolution Imaging new 1250x500 Semiconductor FinalPackageInspection FactorySmartAI Icons Superhuman Performance Intensity comparison

3D-Smart-Sensoren für die Inspektion von Halbleitern

Die Produktion von Halbleitern ist ein mehrstufiger Herstellungsprozess, der sich aus mechanischen, fotolithografischen und chemischen Bearbeitungsschritten zusammensetzt und bei dem nach und nach elektronische Schaltungen auf einem Wafer aus reinem Halbleitermaterial entstehen. Fast immer wird Silizium verwendet, aber auch verschiedene Verbindungshalbleiter werden für spezielle Anwendungen eingesetzt.

 

Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren ermöglichen präzise Inline-3D-Scans und eine Inspektion in verschiedenen Phasen dieses Herstellungsprozesses und sorgen so für maximale Produktqualität und optimalen Produktionsdurchsatz.

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Semicondcutor Inspection Brochure Gocator 4000 Gocator 5000

Mit der Gocator 4000 Serie wird die koaxiale konfokale Liniensensortechnologie eingeführt und das bestehende konfokale Liniensensoren-Produktportfolio von LMI ergänzt. Diese Sensoren bieten eine schnelle, hochauflösende und vielseitige 3D-Inline-Inspektion mit einem herausragenden Winkelbereich (Maximaler Neigungswinkel bis zu +/- 85 Grad) für Fertigungsanwendungen in der Halbleiterindustrie, der Unterhaltungselektronik, der Batterietechnik und vielen anderen Bereichen.

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Gocator Logo 5500 Serie

Empfohlene Lösung

Die Gocator® 5500-Serie erweitert die Gocator® 3D-Smart-Sensoren um die patentierte Line Confocal Imaging (LCI)-Technologie. Diese konfokalen Liniensensoren bieten eine hohe Geschwindigkeit sowie breite Scanabdeckung und erstellen gleichzeitig 3D-Topographie, 3D-Tomographie und 2D-Intensitätsdaten. 

Gocator kann nahezu jeden Materialtyp scannen – einschließlich gekrümmter Kanten, mehrschichtige, transparente/lichtdurchlässige, glänzende/spiegelnde, kontrastreiche, sowie gemischte Oberflächen und vieles mehr – mit Submikron-Präzision und auf einem Qualitätsniveau und Geschwindigkeit, die konkurrierende konfokale Technologien übertrifft.

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Gocator Logo 2500 Serie

Empfohlene Lösung

Gocator 2500 3D-Smart-Sensoren sind die schnellsten, fortschrittlichsten und kompaktesten Profilsensoren der Gocator-Reihe. Diese Linienprofilsensoren wurden speziell für die Inspektion von Kleinteilen entwickelt und erreichen hohe Messfrequenzen von bis zu 10 kHz (einschließlich Scannen, Messen und Kontrolle) sowie eine hohe X-Auflösung bis zu 8 μm. Mit einer maßgeschneiderten 2-Megapixel-Kamera, fortschrittlicher Messoptik und blauen Laserlicht, erzielt Gocator selbst bei glänzenden und anderen anspruchsvollen Oberflächen hervorragende Ergebnisse.

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LMI Technologies entwickelt und liefert innovative smarte 3D-Technologien für die Fertigung. Unsere 3D-Lösungen verbessern die Produktion in verschiedenen Industrien, wie Automobil, Elektronik, Gummi & Reifen, Straßenbau, Gleisbau und Holz durch die Inspektion, Automatisierung und Optimierung von Produkten und Prozessen.

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