3D-Smart-Sensoren für die Inspektion von Halbleitern
Die Produktion von Halbleitern ist ein mehrstufiger Herstellungsprozess, der sich aus mechanischen, fotolithografischen und chemischen Bearbeitungsschritten zusammensetzt und bei dem nach und nach elektronische Schaltungen auf einem Wafer aus reinem Halbleitermaterial entstehen. Fast immer wird Silizium verwendet, aber auch verschiedene Verbindungshalbleiter werden für spezielle Anwendungen eingesetzt.
Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren ermöglichen präzise Inline-3D-Scans und eine Inspektion in verschiedenen Phasen dieses Herstellungsprozesses und sorgen so für maximale Produktqualität und optimalen Produktionsdurchsatz.