ライン共焦点イメージング (LCI) 技術は、特化型の光学計測技術で、微小スケールの寸法とトモグラフィーの構造を測定するために使用されます。
LCI 技術は、横方向の色収差と呼ばれる光学方法に基づいています。センサーのトランスミッターが照射する白い光が、波長の連続スペクトルに分割されます。
ピンホールを通過して戻る「ピントが合った」反射波長が、高さの変動にマッピングされます。この技術は、シングルポイントとマルチポイントの形状のために同軸の設計で利用でき、ライン形状のために軸外の設計で利用できます。
各 LCI センサーには、2 つのフロントレンズがあります。1 つはトランスミッター用で、もう 1 つはレシーバー用です。ライン共焦点センサーのトランスミッターでは、強力な白い LED が光源として機能します。光は、すべての可視波長が含んでいて、照明光学機器を通過します。複雑な光学アセンブリが、光を波長に分割し、各カラーの水平ラインをセンサーからの異なる距離でフォーカスし、焦点面を形成します。
スリットやプリズムなどのさまざまな光学エレメントを含んでいるレシーバーのイメージング光学機器で、各水平ラインから波長や強度データを収集し、データをスペクトルカメラに転送します。カメラでは、各データポイントの主波長と最高強度の情報に基づいて、CMOS アレイが形成されます。センサーのレシーバーに反射される主波長は、トランスミッターと各測定ポイントの間の距離により異なります。
焦点面全体がレシーバーに反射され、センサーが何千もの測定ポイントを一度に分析します。2D と 3D の画像は CMOS データに基づいて作成されます。
ライン共焦点イメージングは、他のマシンビジョン技術と比較して、多くのユニークな利点を持っています。
ライン共焦点イメージング技術は、サブミクロンの解像度と高い測定速度を必要とする要求の高い用途の 3D トポグラフィー、3D トモグラフィー、2D 強度イメージングで使用されます。
LCI技術の最も一般的な用途は以下の通りです：
