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2026-06-30
2026-05-28
2026-05-01
线光谱共焦成像(LCI)技术是一项专用光学计量技术,用于测量微观尺寸与断层结构。
LCI技术是一种基于横向色相差的光学检测方法,该方法将传感器中的发射器发出的白光分成连续的波长光谱。
处于“聚焦”状态(穿过针孔返回)的反射波长会映射为高度的变化。该技术适用于单点和多点几何的同轴设计,以及线几何的离轴设计。
每个LCI传感器都有两个前透镜,一个用作发射器,另一个用作接收器。在线共焦传感器发射器中,有一个强大的白色LED作为光源。该光包含所有可见波长,并穿过光学照明元件。复杂的光学组件将光分成多个波长,并将每种颜色的水平线聚焦到距传感器的不同距离处,从而形成焦平面。
接收器中的光学成像器包含各种光学元件,例如狭缝和棱镜,可从每条水平线收集波长和强度数据,并将该数据传输到光谱相机中。
在相机中,基于每个数据点的主波长和最高强度数据形成CMOS阵列。反射到传感器接收器的主波长取决于发射器与每个测量点之间的距离。
整个焦平面被反射到接收器上,传感器单次可分析成千上万个测量点。2D和3D图像都是基于CMOS数据创建的。
与其他机器视觉技术相比,线共焦成像具备多项独特优势。
线共焦成像技术可在要求亚微米级别分辨率和高测量速度的严格应用中获取3D形貌,3D层析成像和2D强度成像。
LCI 技术最常见的应用包括:
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