3D-Smart-Sensoren für die Inspektion von Halbleitern

Die Produktion von Halbleitern ist ein mehrstufiger Herstellungsprozess, der sich aus mechanischen, fotolithografischen und chemischen Bearbeitungsschritten zusammensetzt und bei dem nach und nach elektronische Schaltungen auf einem Wafer aus reinem Halbleitermaterial entstehen. Fast immer wird Silizium verwendet, aber auch verschiedene Verbindungshalbleiter werden für spezielle Anwendungen eingesetzt.

 

Gocator® konfokale 3D-Liniensensoren ermöglichen präzise Inline-3D-Scans und eine Inspektion in verschiedenen Phasen dieses Herstellungsprozesses und sorgen so für maximale Produktqualität und optimalen Produktionsdurchsatz.

Gocator Logo 5500 Serie

Empfohlene Lösung

Die Gocator® 5500-Serie erweitert die Gocator® 3D-Smart-Sensoren um die patentierte Line Confocal Imaging (LCI)-Technologie. Diese konfokalen Liniensensoren bieten eine hohe Geschwindigkeit sowie breite Scanabdeckung und erstellen gleichzeitig 3D-Topographie, 3D-Tomographie und 2D-Intensitätsdaten. 

Gocator kann nahezu jeden Materialtyp scannen – einschließlich gekrümmter Kanten, mehrschichtige, transparente/lichtdurchlässige, glänzende/spiegelnde, kontrastreiche, sowie gemischte Oberflächen und vieles mehr – mit Submikron-Präzision und auf einem Qualitätsniveau und Geschwindigkeit, die konkurrierende konfokale Technologien übertrifft.

Gocator Logo 2500 Serie

Empfohlene Lösung

Gocator 2500 3D-Smart-Sensoren sind die schnellsten, fortschrittlichsten und kompaktesten Profilsensoren der Gocator-Reihe. Diese Linienprofilsensoren wurden speziell für die Inspektion von Kleinteilen entwickelt und erreichen hohe Messfrequenzen von bis zu 10 kHz (einschließlich Scannen, Messen und Kontrolle) sowie eine hohe X-Auflösung bis zu 8 μm. Mit einer maßgeschneiderten 2-Megapixel-Kamera, fortschrittlicher Messoptik und blauen Laserlicht, erzielt Gocator selbst bei glänzenden und anderen anspruchsvollen Oberflächen hervorragende Ergebnisse.

KONTAKT VERTRIEB

LMI Technologies entwickelt und liefert innovative smarte 3D-Technologien für die Fertigung. Unsere 3D-Lösungen verbessern die Produktion in verschiedenen Industrien, wie Automobil, Elektronik, Gummi & Reifen, Straßenbau, Gleisbau und Holz durch die Inspektion, Automatisierung und Optimierung von Produkten und Prozessen.

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  • Produktvorführungen vor Ort
  • Benutzerdefinierte Anwendungsbewertungen